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近日，在重庆市科技计划项目支持下🍷，中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心在紫外LED自由曲面配光技术的应用研究中取得重要进展，成功将紫外LED光源用于曝光机领域👱🏼♀️，产品已在PCB🧑🏽🎤、液晶面板、触摸屏等行业获得应用🫖。相关成果已获得国家专利授权（专利号：用于紫外LED准直的透镜201320875490.0🤵🏻♂️、高均匀度的紫外LED曝光头201420651432.4）。
传统的平行光曝光机采用高压汞灯作为光源🤹🏽♀️，其寿命只有1000小时⛹🏻♀️，耗电高，且有污染🔪。采用UVLED替换汞灯光源𓀍，寿命可达汞灯的50倍🙇🏻♀️，耗电量可减少90%，大幅降低企业生产成本✹，环保无污染。
目前，重庆研究院已突破LED多自由曲面精确配光👨⚕️、适用于紫外波段的无机光学元件加工等关键技术，首次研发出基于紫外LED的平行光曝光头，平行半角可控制在±2°以内，照明不均匀性小于3%，照明强度高达40mW/cm2🫧。
自主研制的部分UVLED曝光头及光源模组
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